Der Paralleltester Fineliner ermöglicht das beidseitige Kontaktieren auf feine Strukturen. Durch visuelle Erfassung von beiden Substratseiten und entsprechender
Adapterpositionskorrektur können ≥ 300µm Testpunkte kontaktiert werden.
Der Starrnadeladapter mit einem Pitch von ≥ 400µm erlaubt zudem eine hohe Kontaktierdichte. Daraus resultiert eine grosse Prüftiefe auf dem Substrat. Der integrierte DMC-Leser sorgt für eine korrekte Testresultatzuweisung. Mehrfachnutzen können im Fineliner in X-Richtung durchgesteppt werden, wodurch die Substrattoleranzen in der X-Richtung weiter eliminiert werden können und kostengünstigere Adapter und Messtechniken möglich werden. Für ein sicheres und schnelles Umrüsten sorgt ein Schnellspannsystem mit identifzierbaren Wechselsätzen.
Die Messtechnik kann kundenspezifsch defniert werden. Pro Seite stehen 2040 Pylon Interfacepunkte zur Verfügung.
